■제품 개요
　양면 마스크얼라이너(PEM 시리즈)는 웨이퍼의 표면과 이면에 얼라이먼트 광학계를 배치해, 웨이퍼 이면의 패턴에 맞추고, 대응하는 웨이퍼 표면에 「컨택트」 「소프트 컨택트」 「프로키시미티」로 인화를 실시할 수 있는 고성능 양면 마스크아라이나입니다.상하에 배치한 10×쌍대물렌즈의 선명한 광학계에 의해 마스크와 웨이퍼의 얼라이먼트를 확실히 실시할 수 있습니다.또, 쌍대물렌즈의 간격은 가변할 수 있기 때문에 부정형 웨이퍼에 대해서도, 임의의 간격으로 얼라이먼트가 가능합니다.
※상기의 제품 이외에도, 전동 스테이지 첨부의 PEM-1000/2000으로 반송 장치 첨부의 풀 오토 타입 PEM- 4 FA/6 FA가 있습니다.