| 형식 |
PLB-1025 |
PLB-1005 |
PLB-1505 |
PLB-1510 |
PLB-2005 |
PLB-2010 |
| 램프 출력 |
250W |
500W |
500W |
1kW |
500W |
1kW |
| 노광 파장 |
g,h,i |
g,h,i |
g,h,i |
g,h,i |
g,h,i |
g,h,i |
| 노광 에리어 |
Φ105 |
Φ105 |
Φ160 |
Φ160 |
Φ210 |
Φ210 |
| 조도* |
30mw/cm2 |
80mw/cm2 |
40mw/cm2 |
95mw/cm2 |
25mw/cm2 |
55mw/cm2 |
| 조도 균일도 |
+-5.0% |
+-5.0% |
+-3.0% |
+-3.0% |
+-5.0% |
+-5.0% |
| 평행도 |
+-1.0도 |
+-1.0도 |
+-1.0도 |
+-1.0도 |
+-1.0도 |
+-1.0도 | | |