■제품 개요
●메인터넌스 프리인 소형 투영 렌즈
접합 렌즈가 없기 때문에, 자외선에 의열화가 적다.
e선까지 색수차가 보정된 설계이므로 e선얼라이먼트가 가능.

●3점 e선얼라이먼트 방식
장치 전용에 개발된 얼라이먼트 스코프를 탑재.
얼라이먼트 스코프를 3점에 배치한 일에 의해서 고정밀도 얼라이먼트를 실현.
●멀티 노광 스테이지
워크폭 48 mm에서 105 mm까지 공용할 수 있는 노광 스테이지를 탑재.
125 mm까지 옵션 대응.

●오퍼레이션을 집약한 터치 패널 방식의 GUI 화면