Chip Aligner

칩얼라이너, CHIP ALIGNER, CHIP BONDER
COC(chip on-chip)
COW(chip on wafer)
MEMS칩 접합 장치		 COC (chip on-chip)
COW (chip on wafer) 대응
  • 서브 미크론의 얼라이먼트 정도를 자랑하는MEMS팁 접합 장치.

  • 고속 응답 세라믹 히터 표준 장비.



특징

  1. 고속 응답 세라믹 히터 탑재.

  2. MEMS칩의 칩(chip) 레벨로의 접합(COC)에 응용.
    또, 웨이퍼 기판의 칩(chip) 접합(COW)에 응용.

  3. 적외선 투과 카메라 탑재에 의해,Si를 투과 하면서 고정밀도에 얼라이먼트.

  4. 최대8"웨퍼까지 대응.



フリップチップボンダ? COW接合構成? フリップチップボンダ? COW接合?大??

      COW 접합 구성도                                     COW 접합 확대 사진

 

 

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