1. 장비 개요
* Chamber Unit
2)기밀유지 (Packing): 압력 용기용 O-Ring 사용(재질: Silicone)
3)Chamber 내부: Al
4)Service Port
②배기용 : 1식
③전선 도입구 : 1식
④Thermo Couple 도입구 : 1EA
⑤Vacuum 용 : 1EA
2)Work Table :
②재질 : Al
③표면 : 연마 처리
④평행도 : 0.05mm 이내
⑤평탄도 : 0.05 mm이내
②재질: AL
5)도달 진공도: 20 Torr
3-2. Pressure Unit
2)Digital 식 지시 조절계
3)사용 Gauge: Transducer– Control 용
4)Analog식 압력 지시계 – 확인용
5)압력 Control
②승압 : Servo Control Valve로 승압 시간 조절(Pattern 입력)
③ 감압 : Speed Control Valve로 감압 시간 조절
④Keeping시 압력 보정 : ± 0.01Kgf/㎠
2)사용 Heater
②Capacity: 220 V 2Kw /Opening
③Power Feed Through 설치
④Thermo Couple 설치
②온도 제어 방법 : PID 제어
③정도 : ± 5℃
④승온 시간 :30분 이내
2)배기부 : 25A
3)안전 Valve 출구 : ½˝ PT HOSE 구 -----장치 내 토출
4)급 · 배기 배관 : Air 도입 – Chamber간
5)Valve: 수동 CDA 급.배기 Valve
2)Touch Panel사용
3)Auto Mode, 수동 Mode 사용 가능
4)조작 Panel 내용
②압력 조절기 : Digital 설정 Digital 표시 : Servo제어
③압력계 : Analoge0-2.0Kgf/㎠
④Timer :임의 설정 가능
⑤Switch : 전원 ON, 전원 OFF, 운전, 정지, 기타
⑥Tower Lamp : 홍색 – 고장
녹색 – 생산
2)자동 차단기 : 과온 방지용
3)과압 : 임의 설정(1 – 2.0 ㎏f / ㎠)
4)Fuse : 1A, 3A, 5A
5)온도 Fuse : 200℃ 5A
6)Tower Lamp 3색등
7)EMS Switch
2)Manual Mode: 각 Process 별 조작
3)Auto Mode
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Phase |
Voltage |
Power Consumption |
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3相 |
AC 220V |
5 KW |
4-2. Compressed Air
사용 매체
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사용 압력 |
Air 소요량 |
연결구 Size |
Tube Size |
비 고 |
CDA
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0.6MPa |
100ℓ/Min |
15A |
15A |
구동용 |
4-3. 배기
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배기 종류 |
배기량 |
연결구 Size |
Tube Size |
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열배기 |
100ℓ / Min |
25A |
25A |
상기 제품에 대해 수출 상담도 가능합니다.
TEL : 02-868-0661 (代)