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1.장치의 개요
본장치는 필름 , 유리와 실리콘 , 금속이라고 하는 시료 2매를
고정밀도로 위치 맞춤 해 ,
밀착시키는 기능을 가지는 시료 아라이먼트 장치입니다.
2매의 시료를 상하에 배치시켜, 위쪽 시료에
대해서 아래 쪽 시료를 XYZθ축 방향으로 아라이먼트
하는 방식입니다. 아라이먼트가 완료한 상하 시료는 아라이먼트 상태를 보관 유지한 채로
홀더마다
꺼낼 수 있게 되어 있어 장치 외부에서 각종 접착등 여러가지 처리를 가하는 것이 가능합니다.
홀더는 약300℃의 내열성이
있어 열 경화형 접착제에 대응할 수 있습니다. 위쪽 시료 홀더는
자외선을 투과 하는 합성 석영제로 시료 전면에 자외선 조사가 가능합니다.
탑재된 쌍 대물2시야 현미경은 좌우 대물렌즈를 최소35~최대160mm까지 조정 성과
최대φ6인치 시료에 대응합니다.
시료
접합면끼리의 평행을 조정하는 기구를 가져 , 미동 근접으로부터 하드 컨택트까지 조정 가능합니다.
시료 홀더부(상하) 를 각각 마스크 홀더
, 시료대로 교환하는 것으로써φ6인치 대응의
마스크아라이나라고 해도 사용할 수 있습니다.
본장치에서는 표면으로부터만의 관찰이 되기
때문에 아라이먼트 할 수 있는 것은 표면에서 아래 쪽 시료의
아라이먼트마크를 관찰할 수 있는 상하 시료가 조합하고됩니다. (위쪽 시료가
투명 또는 구멍 빈 곳)
2.사양
① 대응 시료 및 시료 홀더
【시료 아라이먼트
장치로서 사용의 경우】
대응 시료 사이즈 상하와도 최대φ6인치
위쪽 시료 홀더(합성 석영제) , 아래 쪽 시료
홀더(SUS제)
【마스크아라이나로서 사용의 경우】
대응 시료 사이즈 최대φ6인치 , 대응 마스크 홀더 최대□7인치
②관찰
광학계
현미경 형식 쌍 대물2시야CCD카메라아라이먼트스코프
배율 9인치 모니터시 모니터상에서 약130배(표준)
대물렌즈 간격
조정식 35~160mm
관찰 조명 5W마이크로 할로겐 램프 같은 축락 쏘아 맞히고 조명
대물렌즈 니콘CF IC EPI Plan
5×
③아라이먼트스테이지
시료 세트 손 두어
XY축 ±5mm 조동·미동 보내 핸들에 의한
수동
Z축 0~10mm 이상 종합 stroke
·보내 핸들 , 미동 레바1(에어 상승) , 미동 레바2(갭)
※옵션의
갭측장기 사용시 분해가능1μm
θ축 ±5˚ 미동약0.42도/회전 센터 부근
상하 시료 고정 진공 흡착식(흡착력 조정
가능)
상하 시료 홀더간 고정 나사 고정식(4개소) (아라이먼트 종료후)
④노광 성능 램프 하우스 우시오전기제PM25C-165
수은등250W
유효 노광 범위 φ165mm
노광 해상도 라인＆스페이스 약5~10μm (참고가격)
※노광할 수 있는 최소 L＆S는
사용하시는 레지스터·마스크·웨이퍼 , 노광 전후 공정등 의
제조건에 의해 다른 일이 있습니다.
노광주 파장
λ=365nm(i선)
조사 균일도 ±5%이하(유효 노광 에리어 전면에서 )
UV 조도
9mW/c㎡이상λ=365nm,13mW/c㎡이상λ=405nm
노광량 제어 타이머식 셔터 개폐 제어
⑤유틸리티
드라이 에어
4Kg/c㎡이상 공기 압력 튜브 접속구φ6mm
진공 650mmHg이상 공기 압력 튜브 접속구φ6mm
전원 AC100V
10A이하
⑥외형 치수·중량 1650×1230×750 mm (H×W×D) 돌기부 포함하지 않고
※별도의 진공 펌프 및 램프
전원 장치의 설치 장소를 확보해 주세요.
350Kg 이하
위쪽 석영제 홀더φ4/6인치 시료 양용
상하 홀더의 락 상태φ4인치 시료의
경우
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