연구실전용 시료 가고정 장치
MA100

유리 시료나 필름과 실리콘 기판을 정밀가 고정!

1.장치의 개요
본장치는 표면에 미소한 구조물이 있는 필름 , 유리와 실리콘 , 금속이라고 하는 시료 2매를 고정밀도로
위치 맞춤 해 , 밀착시키는 기능을 가지는 시료 아라이먼트 장치입니다.
2매의 시료를 상하에 배치시켜, 고정 기준의 위쪽 시료에 대해서 아래 쪽의 시료를 XYZθ축 방향으로 아라이먼트
시키는 방식입니다. 탑재된 쌍 대물2시야 현미경은 좌우 대물렌즈를 최소8~최대90mm까지 조정 성과
소형 시료도 아라이먼트 하는 것이 가능합니다.
시료 접합면끼리의 평행을 조정하는 기구를 가져 , 접합면끼리의 근접 동작은 미동이 가능합니다.
그리고 컨택트압은 에어 실린더에 의해 조정이 가능합니다. 위쪽 시료 외주부 부근을 손님의 시료에
맞추어 개방적인 구조로 할 수 있어 자외선 경화형 접착제등을 이용해2매의 시료의 가고정 을 할 수가 있습니다.
본장치에서는 표면으로부터만의 관찰이 되기 때문에 아라이먼트 할 수 있는 것은 표면에서 아래 쪽 시료의
아라이먼트마크를 관찰할 수 있는 상하 시료가 조합하고됩니다. (위쪽 시료가 투명 또는 구멍 빈 곳)

2.사양

·최대 시료 사이즈 φ4인치(상하라고도 ) t =1000μm정도까지
·상하 시료 착탈 방법 달고 떼어내 수동
·상하측 시료 지지 진공 흡착 고정
※필름 시료시는 더미 유리(Pyrex제) 위쪽 시료대를 사용
·시료가 고정 자외선 경화형 접착제등 을 적하·도포
·시료 교환 위쪽 시료대의 경첩 개폐에 의한
·현미경 쌍안쌍 대물2시야 현미경(3배율 완전히 교체되고 식)
종합 배율 92.5 185 370 (C 마운트 배율 9.25 18.5 37)
시야지름(mm) φ1.8 φ0.9 φ0.45
※좌우 시야 한쪽 눈으로서의 횡방향 사이즈는 시야지름의 반이 됩니다.
대물렌즈간 거리 8~90mm
관찰 조명 섬유 라이트 가이드에 의한 같은 축락 쏘아 맞히고 조명
CCD 카메라 접속 표준 장비의 C 마운트에 의해 접속 가능
·X 쨃축 stroke ±5mm 조동·미동 핸들
θ축 stroke ±3˚미동 손잡이
 Z축 stroke 0~4mm 메카 보내 조동·미동 핸들
0~0.5(0.25)mm 에어 구동(실린더 stroke) 미동 레바
※Z축측장기(옵션)
평행 방편 아래 쪽 시료 대하에 구면 접동 기구를 장비 진공 락
·컨택트압 조정 에어 실린더에 의한 압력 조정
·유틸리티 진공600mmHg 이상 시료(상하)·구면 고정용
공기 압력3Kg/c㎡정도 시료 하드 컨택트용
진공 펌프 및 공기 압력 펌프는 옵션
전원 AC100V 5A 펌프는 제외한
·외형 치수 폭460×안길이540×높이680mm(제어 박스별치)
※자외선 스포트 광원 장치 , 석영 섬유는 옵션이 됩니다.



구멍 빈 곳 파이렉스 위쪽 시료대 장착예


Z축측장기(옵션) 장착예


 

대형 시료 가고정 장치
MA600시방서

시료열 경화형 및 자외선 경화형 접착 아라이나
자외선 경화형 및 열 경화형 접착제 양 대응!
가고정한 시료를 홀더마다 꺼내 가열로에

1.장치의 개요
본장치는 필름 , 유리와 실리콘 , 금속이라고 하는 시료 2매를 고정밀도로 위치 맞춤 해 ,
밀착시키는 기능을 가지는 시료 아라이먼트 장치입니다.
2매의 시료를 상하에 배치시켜, 위쪽 시료에 대해서 아래 쪽 시료를 XYZθ축 방향으로 아라이먼트
하는 방식입니다. 아라이먼트가 완료한 상하 시료는 아라이먼트 상태를 보관 유지한 채로 홀더마다
꺼낼 수 있게 되어 있어 장치 외부에서 각종 접착등 여러가지 처리를 가하는 것이 가능합니다.
홀더는 약300℃의 내열성이 있어 열 경화형 접착제에 대응할 수 있습니다. 위쪽 시료 홀더는
자외선을 투과 하는 합성 석영제로 시료 전면에 자외선 조사가 가능합니다.
탑재된 쌍 대물2시야 현미경은 좌우 대물렌즈를 최소35~최대160mm까지 조정 성과
최대φ6인치 시료에 대응합니다.
시료 접합면끼리의 평행을 조정하는 기구를 가져 , 미동 근접으로부터 하드 컨택트까지 조정 가능합니다.
시료 홀더부(상하) 를 각각 마스크 홀더 , 시료대로 교환하는 것으로써φ6인치 대응의
마스크아라이나라고 해도 사용할 수 있습니다.
본장치에서는 표면으로부터만의 관찰이 되기 때문에 아라이먼트 할 수 있는 것은 표면에서 아래 쪽 시료의
아라이먼트마크를 관찰할 수 있는 상하 시료가 조합하고됩니다. (위쪽 시료가 투명 또는 구멍 빈 곳)

2.사양
① 대응 시료 및 시료 홀더
【시료 아라이먼트 장치로서 사용의 경우】
대응 시료 사이즈 상하와도 최대φ6인치
위쪽 시료 홀더(합성 석영제) , 아래 쪽 시료 홀더(SUS제)
【마스크아라이나로서 사용의 경우】
대응 시료 사이즈 최대φ6인치 , 대응 마스크 홀더 최대□7인치

②관찰 광학계
현미경 형식 쌍 대물2시야CCD카메라아라이먼트스코프
배율 9인치 모니터시 모니터상에서 약130배(표준)
대물렌즈 간격 조정식 35~160mm
관찰 조명 5W마이크로 할로겐 램프 같은 축락 쏘아 맞히고 조명
대물렌즈 니콘CF IC EPI Plan 5×

③아라이먼트스테이지
시료 세트 손 두어
XY축 ±5mm 조동·미동 보내 핸들에 의한 수동

Z축 0~10mm 이상 종합 stroke
·보내 핸들 , 미동 레바1(에어 상승) , 미동 레바2(갭)
※옵션의 갭측장기 사용시 분해가능1μm

θ축  ±5˚ 미동약0.42도/회전 센터 부근

상하 시료 고정 진공 흡착식(흡착력 조정 가능)
상하 시료 홀더간 고정 나사 고정식(4개소) (아라이먼트 종료후)

④노광 성능 램프 하우스 우시오전기제PM25C-165 수은등250W
유효 노광 범위 φ165mm
노광 해상도 라인&스페이스 약5~10μm (참고가격)
※노광할 수 있는 최소 L&S는 사용하시는 레지스터·마스크·웨이퍼 , 노광 전후 공정등 의
제조건에 의해 다른 일이 있습니다.
노광주 파장 λ=365nm(i선)
조사 균일도 ±5%이하(유효 노광 에리어 전면에서 )
UV 조도 9mW/c㎡이상λ=365nm,13mW/c㎡이상λ=405nm
노광량 제어 타이머식 셔터 개폐 제어

⑤유틸리티
드라이 에어 4Kg/c㎡이상 공기 압력 튜브 접속구φ6mm
진공 650mmHg이상 공기 압력 튜브 접속구φ6mm
전원 AC100V 10A이하

⑥외형 치수·중량 1650×1230×750 mm (H×W×D) 돌기부 포함하지 않고
※별도의 진공 펌프 및 램프 전원 장치의 설치 장소를 확보해 주세요. 

350Kg 이하



위쪽 석영제 홀더φ4/6인치 시료 양용



상하 홀더의 락 상태φ4인치 시료의 경우

 

 

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