나노 마이크로-나노 제작 시스템(나노 미세 가공기)

대상재료·용도

대상재 금속·세라믹스·유리·실리콘 용도 마이크로 원자로, 도광판·마이크로 금형등

사양

종래 가공기로부터의 다운사이징 1000mm × 1000mm × 1000mm X-Y축위치 결정 정도 50nm(0.05μ) Z축위치 결정 정도 500nm(0.5μ) 가공 형상의 수치목표 도랑 가공(폭：5~30μ, 깊이：5~100μm) 면가공(면 엉성함：0.02μmRa) 구멍 가공(혈경：30~50μm,L/D 10배)

▲헬용 스핀들	▲세라믹스X-Y에어 스테이지

헬 가공예사진

▼표면 사진	▼측면 사진
	가공 워크　：무산소동 보내 스피드：1000mm/min 절삭 깊이량　：2μm

컨소시엄 멤버

소형 NC 미세가공기

미세 가공이 가능한 기계로서 진동의 억제를 고집해, 가장 제진효과가 높은 재료를 국소에서 사용하고 있는 표준 사양의 스핀들로서 에어 베어링의 에어 터빈 스핀들(80,000rpm)을 탑재하는 것으로 동적심편차를 억제할 수 있어보다 미세한 가공이 가능합니다 수지, 스틸의 드리링·milling 가공외, 유리, 세라믹스, 루비등의 취성 재료에도 사용해 주실 수 있는 제어의 표준 사양으로 탑재하고 있는 오픈NC의 기능을 응용 활용하면, 생산관리에 살린 데이터의 취입도 가능합니다

*보다 고정밀도 사용을 희망하시는 고객을 위해서, 스케일 탑재에 의한 풀 클로우즈 제어에의 대응, 고객의 요구에 맞은 스핀들에의 대응, 리니어 구동에의 대응, 제어의 파낙CNC화에의 대응등의 옵션을 준비하고 있습니다.본기를 베이스로 고객에게 맞은 로봇의 진화를 즐겨 주세요.

장치 사양

장치 치수 600(폭)×800(오)×1100(높이)　(단위/mm) 장치 중량 600kg 주축 에어 베어링에 의한 에어 터빈 스핀들80,000rpm (옵션으로 변경 가능) 테이블 치수 250mm × 218mm 유효 스트로크 X-Y 150mm / Z 100mm 전송 속도 250 mm / sec(능력500mm/sec) 가이드축 LM가이드(옵션：롤러 가이드) 보내 볼 나사(리드P.C 5mm) (리니어 모터 사양시는 없음) 구동 모터 0.2kw써보모터(리니어 모터 옵션) 제어기 오픈NC제어 표준 사양SLM4000 옵션으로 상위 기종 있어 보드에 의한 PCNC 파낙의CNC제어도 옵션에 의해 가능 제어 방식 세미 클로우즈 제어 (옵션으로 스케일 피드백에 의한 풀 클로우즈 제어도 대응하겠습니다) 프레임 주물/발판(별도 판매)：제 관＋석 정반 전원 단상100V(전력2Kw) 공기 소비량 160Nl/min 위치 결정 정도 동적 정도：각 축 5μm (풀 클로우즈 제어시 2μm가능) 반복 정도 동적 정도：각 축 3μm (풀 클로우즈 제어시 1μm가능) 쿨란트 펌프 AC100V　표준 장비

옵션：PC,2차원CAD/CAM

TEL : 02-868-0661 (代)                                     FAX : 02-868-0664