나노 마이크로-나노 제작 시스템(나노 미세 가공기)

 
나노미세가공기,마이크로-나노제작시스템
milling·드리링·헬 가공을 겸비한 소형이고 고정밀의미세 가공기의 개발


대상재료·용도

대상재 금속·세라믹스·유리·실리콘
용도 마이크로 원자로, 도광판·마이크로 금형등


사양

종래 가공기로부터의 다운사이징 1000mm × 1000mm × 1000mm
X-Y축위치 결정 정도 50nm(0.05μ)
Z축위치 결정 정도 500nm(0.5μ)
가공 형상의 수치목표 도랑 가공(폭:5~30μ, 깊이:5~100μm)
면가공(면 엉성함:0.02μmRa)
구멍 가공(혈경:30~50μm,L/D 10배)

▲헬용 스핀들 ▲세라믹스X-Y에어 스테이지


헬 가공예사진

▼표면 사진 ▼측면 사진
  • 가공 워크 :무산소동
  • 보내 스피드:1000mm/min
  • 절삭 깊이량 :2μm

    <외, 에어 슬라이더, 초정밀축제어를 살린 응용 용도>
    레이저 가공기, 레버러토리 용 석판 인쇄, 삼차원 측정기, 레이저 측정기, 화상 측정기


    컨소시엄 멤버

    ●큐슈 공업대학
    ●주식회사 야스카와 전기
    ●토토 기기 주식회사
    ●주식회사 가공 기술 연구소
    ●관리 법인 키타큐슈 산업 학술 추진 기구
    ●주식회사 피엠티

     

     

     

    소형 NC 미세가공기

    • 미세 가공이 가능한 기계로서 진동의 억제를 고집해, 가장 제진효과가 높은 재료를 국소에서 사용하고 있는
    • 표준 사양의 스핀들로서 에어 베어링의 에어 터빈 스핀들(80,000rpm)을 탑재하는 것으로 동적심편차를 억제할 수 있어보다 미세한 가공이 가능합니다
    • 수지, 스틸의 드리링·milling 가공외, 유리, 세라믹스, 루비등의 취성 재료에도 사용해 주실 수 있는
    • 제어의 표준 사양으로 탑재하고 있는 오픈NC의 기능을 응용 활용하면, 생산관리에 살린 데이터의 취입도 가능합니다
    *보다 고정밀도 사용을 희망하시는 고객을 위해서, 스케일 탑재에 의한 풀 클로우즈 제어에의 대응, 고객의 요구에 맞은 스핀들에의 대응, 리니어 구동에의 대응, 제어의 파낙CNC화에의 대응등의 옵션을 준비하고 있습니다.본기를 베이스로 고객에게 맞은 로봇의 진화를 즐겨 주세요.


    장치 사양

    장치 치수 600(폭)×800(오)×1100(높이) (단위/mm)
    장치 중량 600kg
    주축 에어 베어링에 의한 에어 터빈 스핀들80,000rpm
    (옵션으로 변경 가능)
    테이블 치수 250mm × 218mm
    유효 스트로크 X-Y 150mm / Z 100mm
    전송 속도 250 mm / sec(능력500mm/sec)
    가이드축 LM가이드(옵션:롤러 가이드)
    보내 볼 나사(리드P.C 5mm)
    (리니어 모터 사양시는 없음)
    구동 모터 0.2kw써보모터(리니어 모터 옵션)
    제어기 오픈NC제어
    • 표준 사양SLM4000 옵션으로 상위 기종 있어
    • 보드에 의한 PCNC
    • 파낙의CNC제어도 옵션에 의해 가능
    제어 방식 세미 클로우즈 제어
    (옵션으로 스케일 피드백에 의한 풀 클로우즈 제어도 대응하겠습니다)
    프레임 주물/발판(별도 판매):제 관+석 정반
    전원 단상100V(전력2Kw)
    공기 소비량 160Nl/min
    위치 결정 정도 동적 정도:각 축 5μm
    (풀 클로우즈 제어시 2μm가능)
    반복 정도 동적 정도:각 축 3μm
    (풀 클로우즈 제어시 1μm가능)
    쿨란트 펌프 AC100V 표준 장비

    옵션:PC,2차원CAD/CAM

     

     

     

    TEL : 02-868-0661 (代)                                     FAX : 02-868-0664

     

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