■제품 개요
　본장치는, 선명한 얼라이먼트 광학계와 논콘타크트캐리브레이션유닛트를 채용하고, 컨택트 및 프로키시미티로φ150 mm까지 일괄로 노광을 실시할 수 있는 전자동 마스크아라이나이다.
반도체 압력센서·가속도 센서·각종 센서를 시작으로 하는 마이크로 머신의 제작, LD·LED등의 화합물 반도체등이 다양한 전자 디바이스의 분야에서의 노광 공정에 최적이다