웨이퍼 확장 장치

웨이퍼-expander/웨이퍼-확장 장치
다이싱/분할 된 웨이퍼-를 X-Y방향으로 균일하게 확장해,
팁 간격을 임의의 갭에 넓힙니다.
다이싱/분할 후의 팁 핸들링이 현저하게 향상합니다.


 

특징
1 확장율을 임의로 설정 가능.
2 확장 스피드를 임의로 설정 가능.
3 고확장율을 가능하게 하는 핫 플레이트 탑재 스테이지.
4 그립 링으로 확장된 필름을 자동 그립.
   


확장된 웨이퍼-

TEX-21 series

 

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