스핀 디벨로퍼 & 스핀 에처 & 스트리퍼 (spin developer & etcher & Stripper : 세미오토)

 

 당사 제품은 각종 반도체 웨이퍼, SUS 명판, PCB 에칭용(현상기 : 에쳐)으로 사용이 가능하, 우수한 식각 균일성을 보장하는 회전식 스프레이 식각장치입니다.

각종 화학 약품에 대해 내화학성이 뛰어난 PVC, PFA, SUS 등을 사용하므로 우수한 내구성을 보장합니다.

상부에서 하부로 분무되는 식각용액은 순환시켜 재사용하며, 식각의 균일성을 위해 시편 지지대는 자동으로 회전하면서 에칭(현상) 및 세척을 해 줍니다.

 

◈ 특 징  (하기 사양은 주문자에 의해 변경하여 공급할 수 있습니다. : 내 산성用 및 내 유기성用)

 

① 고급 사양의 스프레이 에칭(현상)장비이며, 에칭(현상) 시간 및 온도 설정이 가능합니다.

* 디지털 온도 조절기로 70℃까지 조절

* 디지털 타이머로 에칭(현상)시간 설정

* 스핀 R.P.M 조정

② 약산 약알칼리 분위기에 사용 가능합니다. (옵션 : 유기용으로 공급합니다.)

150㎜ × 150㎜ 크기 기판의 에칭이 가능합니다. (옵션 : 8, 12 인치 사용 : 엔드유저 타입으로 공급)

④ 실험실, 연구소, 대학교 실습용, 소롯트 생산용으로 적합합니다.

⑤ 드레인 밸브로 약품의 교환 및 제거가 용이합니다.

 

당사가 개발하여 공급 하는 스핀코터 및 스핀 디벨로퍼 (스핀에처, 마스크 세정장비 용도로 사용 가능), 소롯트 생산 및 연구용 장비로 사용 !

 

Model : SD-0627 (내산성用 : PVC), SD-0430 (유기用 : SUS)

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 상기 제품은 스핀 홀더용이며 버큠 척을 사용할 수 있게 공급도 합니다.

 TEL : 02-868-0661 (代) 

 img4.gif

상기 스팩은 유저에 의해 변경될 수 있습니다.

 

특징 :

1. 당사 스핀에쳐(spin etcher)는 자동으로 PCB, 글라스 웨이퍼의 시편을 올려놓고 자동으로 회전하며 에칭, 현상 및 세척을 해 줍니다.
2. 간단한 조작으로 고감도 패턴을 얻을 수 있습니다.
3. 외산에 비해 공급가격이 저렴하며 일반 PCB용 에칭기로도 사용이 가능합니다.
4. 상기 제품은 FULL OPTION이며 자동으로 저렴하게 공급합니다.

* 귀사가 원하시는대로 사양을 의뢰하시면 당사가 적용하여 공급이 가능합니다. (End-user Base.)

  TEL : 02-868-0661 (代) 

 

feature

1. Our supply to Spin Etcher are manaual type & Semi Auto Type & need to end-user include for Glass, Wafer, P.C.B.
2. Our supply to very simply control & High sensitivity pattern.
3. Our supply to very competitive price.

   

 

 스핀코터에 관심이 계시면 여기를 클릭해 주시면 당사가 공급하는 스핀코터 사이트가 보입니다.

 

 

 초 정밀 스핀디벨로퍼, 스핀에쳐, 웨이퍼 세정장비 (DAD-0627-SPIN DEVELOPER)

 

Wafer의 노광작업 후 표면을 현상하는 장비로서 현상하는 과정에서 가장 중요한 Wafer의 센터링 및 현상액의 정량 토출을 쉽고 편리하게 사용할 수 있는 장비이며 User의 접근이 용이 하도록 PC기반 Graphic User Interface를 채용하여 사용하기 쉽도록 설계되어 있습니다.

 

품명

내용

수량

비고

DAD SYSTEM

Manual spin developer

1 set

 

Auto 현상액 dispense unit

1 set

Option

Auto DI dispense unit

1 set

Option

Auto back rinse unit

1 set

Option

Auto centering unit

1 set

Option

 

- Manual spin developer : DATC SYSTEM의 기본 장비로서 FRAME, BOOTH, SPIN, Manual Centering, Control PC등으로 구성되어 있습니다.

- Auto 현상액 dispense unit : Recipe의 설정에 따라 SCAN mode와 Single mode로 사용 가능합니다.

- Auto DI dispense unit : Wafer의 표면에 DI를 뿌리는 unit, Nozzle, Tank등으로 이루어져 있습니다.

- Auto back rinse unit : Wafer의 back side 오염을 방지하는 unit으로 dispense nozzle, 약액 Tank 등으로 이루어져 있습니다.

- Auto centering unit: Wafer를 Spin chuck 중앙에 위치시키기 위한 unit으로 Centering arm, Moving motor등으로 이루어져 있습니다.

 

 

Multipurpose Processor/Spin Etcher


semi-multipurpose2-img.jpg
We have a case unlike the real thing to a product of a photograph.
  Model : DA2D-200
 
icon.gifFeature
    Temperature control, drainage selection, and various functions can be added. (The photo is teflon + PVC body. )
 
icon.gifSpecification
   
Work size: Φ2 inch ~ Φ8 inch
Acid solution Acid and alkali type
Clean unit HEPA filter
Option selectable 2-4 drains, and nozzles for chemical
Power supply AC100v or 200v
CDA. more 0.5Mpa .
DIW. more 0.2Mpa .

※ It is designed by customers spec, and various applications can be corresponded easily.

 

Multipurpose Processor/Spin Processor
semi-multipurpose1-img.jpg
We have a case unlike the real thing to a product of a photograph.
  Model : DAS-401
 
icon.gifFeatures
    It corresponds to the acid and the solvent by two kinds of body materials. (Please consults with us when you will study. The photo is PVC body. )
Multipurpose equipment that can be used for etching, cleaning, development, stripping、 dry 、etc.
 
icon.gifSpecifications
   
Substrate size Φ2 inch ~ Φ8 inch
Clean unit HEPA filter as standard
Clean Spin clean and (Brush or MS User choose)
Spindle motor DC Motor
Range of revolution speed 100-5000 rpm
Revolution speed setting Volume
Revolution speed display Analog
Acid specification Acid and alkali type
Solvent specification       IPA . Various solution such as acetones
Options High-pressure jet nozzle and chemical nozzle , Filter,etc.
DIW. RC3/8inch
Power supply AC100v or200v 10A 50/60Hz ±10%
EXH. Φ50mm PVC.

 

 

 

 

  

 TEL : 02-868-0661 (代)             

 

   pcb21@korea.com                                          Home                                          Email

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

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Model : TMS-401 / 200 만엔

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 2007/01/20